六氟化硫价格-六氟化硫-江苏凯美电子材料(查看)

六氟化硫的使用可以增加设备运行的安全性、缩小设备体积、延长设备寿命。近几年，***大力发展基础电力行业，给六氟化硫厂家带来了很大的市场机遇。

高纯六氟化硫(纯度在99.99%以上)，国内需求非常旺盛，而且附加值较高。

高纯六氟化硫主要用于半导体工业中作清洗气体。

六氟化硫的成本只有NF3的几分之一，近年来，各公司以廉价的SF6取代以往CVD工艺中作为清洗气体的NF3的新技术正被广泛研究。

该技术在大幅降低液晶产品加工中占相当比例的CVD气体成本的同时，还显示出了极i佳的环保前景，近年来用量有明显的提高。

据权i威机构预测，2010年我国将成为仅次于美国的世界第二大集成电路市场，总需求量约为500亿美元。目前国内使用高纯六氟化硫作为蚀刻气的生产线约有50条左右预计。2016年将达到700吨左右，

国内使用六氟化硫作为蚀刻气的生产线有近50条，在未来的五年预计将有20条至30条新线建成。每年约消耗高纯六氟化硫为600吨左右。而国内高纯六氟化硫产品远远不能满足市场需求，半导体厂家所用高纯产品大部分依赖进口，这给高纯六氟化企业提供更多的发展机遇。

纯净的SF6气体虽然***，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的***，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。

　　在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，六氟化硫处置与储存，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备。

电子捕获ECD原理

电子捕获检测器（electron capture detector)，简称ECD。 电子捕获检测器也是一种离子化检测器，它是一个有选择性的高灵敏度的检测器，它只对具有电负性的物质，六氟化硫，如含卤素、硫、磷、氮的物质有信号，六氟化硫厂家，物质的电负性越强，也就是电子吸收系数越大，检测器的灵敏度越高，而对电中性（无电负性）的物质，如烷烃等则无信号。

目前采用第二种试验方法较为准确，其实施程序是：抽真空检验→SF6气体→六氟化硫气体泄漏检验。

具体过程为：在GIS经真空检漏并静止SF6气体5h后，用塑料薄膜在法兰接口等处包扎，再过24h后进行检测，如果有一处薄膜内SF6气体的浓度大于30ppm，六氟化硫价格，则该气室漏气率不合格。如果所有包扎薄膜内SF6气体的浓度均小于30ppm，则认为该气室漏气率合格。

六氟化硫气体泄漏在线监控报警系统是检测现场SF6气体浓度、氧气含量及温湿度等环境数据，并通过大量数据分析处理做出控制以及告警的智能气体报警系统。