湖南六氟化硫制备可量尺定做,江苏凯美氮气

如果六氟化硫气体中含有超过规定的水分，当其湿度发生变化时，就可能凝结在固体绝缘表面使该面变潮，这时设备的沿面放电电压将显著下降。而国内高纯六氟化硫产品远远不能满足市场需求，半导体厂家所用高纯产品大部分依赖进口，这给高纯六氟化企业提供更多的发展机遇。六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解生成的低氟化合物气体，假如没有水分子这个外部条件是不会生成SO2、HF及其它***物质的，从而也就可以避免由它们产生的设备腐蚀。所以，设备充装六氟化硫气体必须严密措施防止水分进入。

为什么六氟化硫气体纯度不纯了？

（1）六氟化硫气体纯度不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、***等有***体。大家知道，目前化工行业制造六氟化硫气体的方法主要是采用单质硫磺与过量气态氟直接化合反应而成；即S 3F2→SF6 Q（放出热量） 。在合成的粗品中含有多种杂质，其杂质的组成和含量因原材料的纯 度、生产设备的材质、工艺条件等因素的影响而有很大差异，杂质总含量可达5%。当然清洗出的吸附剂、金属粉末需要经过中和处理之后进行深埋，不得直接排放到外部环境中。其组成有硫氟化合物，如：S2、F2、SF2、SF4 等；硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、 SOF4 等 以及原料中带入的杂质如 HF、OF2、CF4、N2、O2等。为了净化粗品中的杂质，合成后的 SF6气体还需要经过水洗、碱洗、热解（去除剧i毒的十氟化物） 、干燥、吸附、冷冻、蒸馏提纯等一系列净化处理过程才能得到纯度在99.8%以上的产品。然后再用压缩机加压，充入降温至 -80℃左 右的钢瓶中，以液态形式存在。在使用时减压放出，呈气态冲入电气设备中。

除在上面的合成过程中产生的杂质外，另外， 在气体的充装过程中还可能混入少量的空气、水分、和矿物油等杂质，这些杂质均带有或会产生一定的毒性物质。六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。因此，为保证六氟化硫的纯度和质量，对出厂的六氟化硫国际电工委i员会（IEC）及许多***均制定了质量标准，并要求生产厂家在供货时提供生物试验***证明书。

高纯六氟化硫的应用

六氟化硫的使用可以增加设备运行的安全性、缩小设备体积、延长设备寿命。近几年，***大力发展基础电力行业，给六氟化硫厂家带来了很大的市场机遇。

高纯六氟化硫(纯度在99.99%以上)，国内需求非常旺盛，而且附加值较高。

高纯六氟化硫主要用于半导体工业中作清洗气体。

六氟化硫的成本只有NF3的几分之一，近年来，各公司以廉价的SF6取代以往CVD工艺中作为清洗气体的NF3的新技术正被广泛研究。

该技术在大幅降低液晶产品加工中占相当比例的CVD气体成本的同时，还显示出了极i佳的环保前景，近年来用量有明显的提高。

据权i威机构预测，2010年我国将成为仅次于美国的世界第二大集成电路市场，总需求量约为500亿美元。目前国内使用高纯六氟化硫作为蚀刻气的生产线约有50条左右预计。2016年将达到700吨左右，

国内使用六氟化硫作为蚀刻气的生产线有近50条，在未来的五年预计将有20条至30条新线建成。但是说SF6气体无害的前提是纯品六氟化硫，如果是高压开关中已经使用过很多次的SF6气体，当然就不安全了。每年约消耗高纯六氟化硫为600吨左右。而国内高纯六氟化硫产品远远不能满足市场需求，半导体厂家所用高纯产品大部分依赖进口，这给高纯六氟化企业提供更多的发展机遇。

六氟化硫气体中i毒很严重么？一旦六氟化硫气体遇到高热、高温（如：电弧），会产生出副产物—氧化硫和***气体，它们与未分解的六氟化硫气体共存。此时就有三种***存在。氧化硫是一种硫i酸酐，易被***湿润的粘膜表面吸收生成***和亚***，***和呼吸道粘膜有强烈的刺激作用。具体表现为流泪、咳嗽、喉灼痛、眼结膜及呼吸道刺痛等症状。目前采用第二种试验方法较为准确，其实施程序是：抽真空检验→SF6气体→六氟化硫气体泄漏检验。遇到***的汗液，会使人的皮肤红i肿。***，易溶于水。同样易被***湿润的粘膜表面吸收而生成氢i氟酸，它对***的危害同氧化硫一样——是眼和呼吸道，但危害更大。氢i氟酸常被用于刻蚀玻璃，可见它的腐蚀性极大。若遇到人的汗液，在人的皮肤表面形成氢i氟酸，它能穿透i皮肤表面向深层渗透，形成***和坏死，且不宜治i愈。若骨骼损害引起氟骨病，将无法复原。***的毒性比之氧化硫和六氟化硫有过之而无不及。