陕西六氟化硫制备源头直供厂家,江苏凯美电子

纯净的SF6气体虽然***，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的***，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。

　　在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备。

红外光谱技术（IAC510）

红外光谱吸收技术(又称激光技术）的原理是SF6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。如果所有包扎薄膜内SF6气体的浓度均小于30ppm，则认为该气室漏气率合格。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。

高纯六氟化硫的应用

六氟化硫的使用可以增加设备运行的安全性、缩小设备体积、延长设备寿命。近几年，***大力发展基础电力行业，给六氟化硫厂家带来了很大的市场机遇。

高纯六氟化硫(纯度在99.99%以上)，国内需求非常旺盛，而且附加值较高。

高纯六氟化硫主要用于半导体工业中作清洗气体。

六氟化硫的成本只有NF3的几分之一，近年来，各公司以廉价的SF6取代以往CVD工艺中作为清洗气体的NF3的新技术正被广泛研究。

该技术在大幅降低液晶产品加工中占相当比例的CVD气体成本的同时，还显示出了极i佳的环保前景，近年来用量有明显的提高。

据权i威机构预测，2010年我国将成为仅次于美国的世界第二大集成电路市场，总需求量约为500亿美元。目前国内使用高纯六氟化硫作为蚀刻气的生产线约有50条左右预计。2016年将达到700吨左右，

国内使用六氟化硫作为蚀刻气的生产线有近50条，在未来的五年预计将有20条至30条新线建成。六氟化硫是一种无色、无臭、***、不燃的惰性气体，它的分子量为146。每年约消耗高纯六氟化硫为600吨左右。而国内高纯六氟化硫产品远远不能满足市场需求，半导体厂家所用高纯产品大部分依赖进口，这给高纯六氟化企业提供更多的发展机遇。

六氟化硫防护之设备安全防护措施：

除了对人员进行保护，六氟化硫防护也包含设备的防护***。经验表明，工作人员在即使是含有非常微量的分解物的环境中，也会感到刺鼻或不舒服的气味，对鼻、口及眼等有明显的刺激。SF6高压电气设备中的SF6需要定期更换，以免不纯的SF6影响工作效率，对于金属和绝缘零部件也要定期清洗。当然清洗出的吸附剂、金属粉末需要经过中和处理之后进行深埋，不得直接排放到外部环境中。对于SF6电气设备存在的车间还应定期进行检漏测试，同时搞好排风换气系统，保证车间内的环境安全。