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制备

1、直接合成法 经净化后的氟（含HF≤0．5%）和硫反应生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶及分子筛干燥器干燥后，制得六氟化硫产品。如果所有包扎薄膜内SF6气体的浓度均小于30ppm，则认为该气室漏气率合格。

将硫、二氯化LIU、一氯化硫、二liu化碳或***等加入到无水***中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。或氟和硫直接反应制备六氟化硫。还可以金属氧化物为催化剂于300℃下用空气氧化四氟化liu，或者在500～2000℃使氟化硫热解。

元素氟和硫直接反应法。

直接电解法　将硫、二氯化liu、一氯化硫、二liu化碳或***等加入到无水***中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。用***与无水***电解时，以镍作极，铁作阴极，温度为－10～20℃，电压为7～20V。电解产物应除去杂质;催化氧化法　金属氧化物为催化剂，于300℃下，用空气氧化四氟hua硫，该法缺点是收率过低。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶及分子筛干燥器干燥后，制得六氟化硫产品。

热解法，在500～2000℃使SF4热解，但该法的转换率及收率皆低，采用微波放电分解SF4亦可。氟hua钴法　将硫磺或其他硫化物在三fu化钴和二氯hua钴存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。***与氟燃烧法。但是说SF6气体无害的前提是纯品六氟化硫，如果是高压开关中已经使用过很多次的SF6气体，当然就不安全了。联产法　氯氟代***和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。

为什么六氟化硫气体纯度不纯了？

（1）六氟化硫气体纯度不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、***等有***体。大家知道，目前化工行业制造六氟化硫气体的方法主要是采用单质硫磺与过量气态氟直接化合反应而成；即S 3F2→SF6 Q（放出热量） 。在合成的粗品中含有多种杂质，其杂质的组成和含量因原材料的纯 度、生产设备的材质、工艺条件等因素的影响而有很大差异，杂质总含量可达5%。其组成有硫氟化合物，如：S2、F2、SF2、SF4 等；硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、 SOF4 等 以及原料中带入的杂质如 HF、OF2、CF4、N2、O2等。为了净化粗品中的杂质，合成后的 SF6气体还需要经过水洗、碱洗、热解（去除剧i毒的十氟化物） 、干燥、吸附、冷冻、蒸馏提纯等一系列净化处理过程才能得到纯度在99.8%以上的产品。然后再用压缩机加压，充入降温至 -80℃左 右的钢瓶中，以液态形式存在。在使用时减压放出，呈气态冲入电气设备中。面部皮肤和眼睛如果直接暴露在氢i氟酸、***等物质中，危害可不少。

除在上面的合成过程中产生的杂质外，另外， 在气体的充装过程中还可能混入少量的空气、水分、和矿物油等杂质，这些杂质均带有或会产生一定的毒性物质。因此，为保证六氟化硫的纯度和质量，对出厂的六氟化硫国际电工委i员会（IEC）及许多***均制定了质量标准，并要求生产厂家在供货时提供生物试验***证明书。但是如果SF6气体质量不合格，杂质尤其是水分超标，出现六氟化硫微水过多的问题，在高压电弧的作用下，就会生成亚***、***等***腐蚀性产物。

六氟化硫气体中i毒有何症状？六氟化硫气体中存在的有***体和设备内产生的粉尘，对***呼吸系统及粘膜等有一定的危害，一般六氟化硫气体中i毒后会出现不同程度的流泪、打喷嚏、流涕，鼻腔咽喉有热i辣感，发音嘶哑、咳嗽、头晕、恶心、胸闷、颈部不适等症状。我们如何自查是否发生六氟化硫气体中i毒？六氟化硫气体中存在的有***体和设备内产生的粉尘，对***呼吸系统及粘膜等有一定的危害，一般六氟化硫气体中i毒后会出现不同程度的流泪、打喷嚏、流涕，鼻腔咽喉有热i辣感，发音嘶哑、咳嗽、头晕、恶心、胸闷、颈部不适等症状。发生上述中i毒现象时，应迅速将六氟化硫气体中i毒者移至空气新鲜处，并及时进行治i疗。