广东六氟化硫用途可量尺定做 江苏凯美

制备

1、直接合成法 经净化后的氟（含HF≤0．5%）和硫反应生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶及分子筛干燥器干燥后，制得六氟化硫产品。据权i威机构预测，2010年我国将成为仅次于美国的世界第二大集成电路市场，总需求量约为500亿美元。

将硫、二氯化LIU、一氯化硫、二liu化碳或***等加入到无水***中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。或氟和硫直接反应制备六氟化硫。还可以金属氧化物为催化剂于300℃下用空气氧化四氟化liu，或者在500～2000℃使氟化硫热解。

六氟化硫制备：

以长约300mm直径25mm的镍管为反应器，将盛有硫粉的镍舟置于其中，反应管与一石英阱连接，石英阱以液态氧冷却。装置的末端与一装有新脱水的KF的铁制干燥管相连，以隔离空气中的湿气。硫在氟气流中燃烧，生成的产物凝聚在冷阱中。随后进行纯化，使产物气化并通过10%的KOH热溶液（不用NaOH）洗涤除去其中的杂质（HF，SF2，SF4，SOF2，S2F10）。在电弧作用下，SF6分解为氟原子和硫原子，设备触头则蒸发出金属Cu和W蒸汽，六氟化硫微水超标就会导致水分和这些蒸汽生成金属氟化物腐蚀元部件表面。然后用P4O10干燥产物气体，并在室温下通过活性炭除去S2F10。

用途：

可用于有色金属的冶炼和铸造工艺，也可用于铝及其合金熔融物的脱气和纯化。在微电子业中，可用六氟化硫蚀刻硅表面并去除半导体材料上的有机或无机膜状物，并可在光导纤维的制造过程中，作为单膜光纤隔离层掺杂剂。加有六氟化硫的电流遮断器额定电压高，且不易i燃烧，另外，六氟化硫还用于各种加su器、超高压蓄电器、同轴电缆和微波传输的绝缘介质。目前六氟化硫是应用较为广泛的测定大气污染的示踪剂，示踪距离可达100km。六氟化硫化学稳定性好，对设备不腐蚀，在冷冻工业中可作为冷冻剂(操作温度在-45～0℃之间)，作制冷剂替代氟利昂，对臭氧层完全没有破i坏作用，符合环保和使用性能的要求，是一种很有发展潜力的制冷剂。当出现SF6气体含量增i高或超过标准时，应随即对部件进行详细检查，查找原因并予以消除。用作电气绝缘介质和灭弧剂，测定大气污染程度的示踪剂。

处置与储存

六氟化硫是一种无色、无臭、***、不燃的惰性气体，它的分子量为146.07，在20℃和0.1 MPa时密度为6.1kg/m3，约为空气密度的5倍

操作注意事项：密闭操作，局部排风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。远离易i燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。一旦六氟化硫气体遇到高热、高温（如：电弧），会产生出副产物—氧化硫和***气体，它们与未分解的六氟化硫气体共存。配备泄漏应急处理设备。